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ヒュームフードAシリーズ エッチングチャンバー耐熱PVC1槽タイプ
三進金属工業株式会社
Sanshin Metal Working Co., Ltd.HPSH-1200
- 識別情報
- シリーズ名
- 局所排気装置
- 製品名
- ヒュームフードAシリーズ エッチングチャンバー耐熱PVC1槽タイプ
- 製品ID
- HPSH-1200
- カテゴリー
- 科学機器
- 寸法・重量
- 外形寸法
- 奥行き
- 820/750mm
- 高さ
- 2,150mm
- 幅
- 1,200mm
- 製品分類
- 一般分類
- 製品タイプ
- スタンダード
- 材質
- 一般
- 材質名
- 外装 : 耐熱PVC
- 特徴
- 半導体製造過程における、エッチング工程、洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
- 耐酸性、耐アルカリ性に優れた硬質PVC 製です。酸処理や他の化学薬品を使った作業に便利にご使用いただけます。
- チャンバー内部の背面にはバッフル板を採用しておりますので比重の大きいガスも確実に排気することができます。
- グースネック型の給水栓はチャンバーの前面のハンドルによるリモート操作方式です。
- 備考
- 内寸法(W×D×H)(mm) : 1100×670×1100
- 作業時サッシ開口高さ(mm) : 350
- ダクト接続口 : 200A
- 所用ダクト径(φmm) : 200
- 制御風速 (m/s) : 0.5
- 風量(㎥/min) : 12
- 蛍光灯(本) : 20形×2
- 照明装置 : 蛍光灯使用、スイッチ付き
- コンセント(箇所) : 1
- コンセント : AC100V15A ダブル×1個付き
- 内装 : 耐熱PVC
- 流し部 : 耐熱PVC
- 窓 : 耐熱PVC(透明)
- 耐熱温度 : 60℃
- 給排水(箇所) : 1
- 給水栓 : グースネック型純水用自在水栓
